华海清科离子注入机已批量交付 再获存储芯片领域突破

近日，华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自主研发的12英寸大束流离子注入机iPUMA-LE成功交付国内一家领先的存储芯片制造企业。此前，该设备已批量交付多家集成电路制造头部企业，此次交付标志着华海清科在存储芯片领域的进一步突破。